华润微：臭氧在半导体行业的应用范围主要包括薄膜沉积、湿法清洗、表面处理、氧化物生成等工艺制程
证星董秘互动
2026-06-26 16:02:02
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华润微(688396)06月26日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题。
投资者：公司在哪些半导体生产工艺及环节会用到半导体臭氧及臭氧水设备？华润微董秘：尊敬的投资者您好，感谢您对公司的关注。臭氧在半导体行业的应用范围主要包括薄膜沉积、湿法清洗、表面处理、氧化物生成等工艺制程。谢谢！
本文数据来源于上海证券交易所e互动，仅供参考不构成投资建议。
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