光刻机谁发明出来的?光刻机是什么?
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2023-05-05 11:35:33
光刻机谁发明出来的?
尼埃普斯
“光刻机是法国人Nicephore niepce(尼埃普斯)于1822年发明的;起初是Nicephore niepce发现了一种能够刻在油纸上的印痕,当其出现在了玻璃片上后,经过一段时间的暴晒,透光的部分就会变得很硬,但是在不透光的部分可以用松香和植物油将其洗掉。”
光刻机是什么?
“光刻机(lithography)又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。”
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