公司自研8英寸碳化硅长晶设备持续供货
晶升股份
2023-07-11 16:41:23
【资料图】
公司于2018 年开始布局碳化硅领域，积极开展碳化硅晶体生长设备相关的技术研究与创新，经过多年的技术积淀，已具备满足客户定制化需求的技术积累。现公司已向多家客户交付了8英寸碳化硅长晶设备，部分客户已经取得了一定的研发成果，并正在不断优化工艺制程。
公司自研8英寸碳化硅长晶设备，突破大尺寸晶体生长的关键技术，可实现检漏、洗炉、长晶等全过程的自动运行，流量、温度、压力参数的精确控制，轴向径向温梯的控制分离。另外设备具有独特的结构设计，可方便后期维护与装料卸料，提高热场寿命和工作效率，进一步满足客户实现低成本、高良率的晶体生长需要。
8英寸碳化硅长晶设备出货中
责任编辑：360
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